产品介绍 TL1400-C单温区CVD系统详细技术参数
质保期 一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 注意事项 1.炉管内气压不可高于0.02MPa 2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa 3.当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当 4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击 5.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） 6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚 详细描述 TL1400产品描述 管式炉以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10 -3 Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。 1、加热元件
（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。 （2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。 （3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。 2、安装有空气开关和漏电保护器： 当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接（选购） 该炉配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。 4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。 5、炉膛表面光洁、不易掉粉。 5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
7、认证
标准配置 管式炉标准配件
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