详细技术参数
TL1400管式炉 | 型号 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
功率 | 5KW | 5KW | 6KW |
| 炉管尺寸 | 高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选） 两边各放置两个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置 
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外形尺寸（LXDXH） | 610X490X800 | 610X550X850 | 610X550X850 |
电源电压 | 220V /380V |
相数 | 单相 |
加热元件 | 硅碳棒 |
控制方式 | 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）   
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） |
控温模式 | 智能PID |
断偶保护和显示 | 有 |
过温保护 | 有 |
过流保护 | 有 |
控制精度 | +/- 1 ℃ |
触发器 | 移相触发 |
电器 | 浙江正泰 |
可控硅 | 106/16E 德国西门康 |
最高温度 | 1400 ℃ |
额定温度 | 1350 ℃ |
升温速率 | ≤35 ℃/ Min （可根据要求修改） |
推荐升温速率 | ≤15℃/ Min |
热电偶型号 | S型 |
加热段长度 | 300 mm |
温度校准（选配） | 定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线   
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电器认证 | 
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四周表面温度 | ≤45℃ |
阀门和法兰 | 
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GX供气系统主要参数 
| 质量流量计 
| 量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
耐压 |
3MP |
流量控制精度 |
±1.0%F.S |
最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S |
路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
系统工作压力范围 | 0.1～0.5 MPa |
工作温度 | 5-45℃ |
压力真空表表 | -0.1～0.15MPa 0.01MPa/格 |
静态混气室 | Dia50 X 400MM |
接口 | Dia6 / 1/4” |
VS-0.1抽气系统 
方案一或方案二任选一个 | 电源 | 220V |
尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 |
波纹管 | KF25X1000mm |
用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa |
真空挡板阀 | KF25 |
VRD-8真空泵 方案一 | 型号 |
VRD-8 |
极限分压强 |
5X10-2 Pa |
进排气接口 |
KF25 |
电机转速 |
1440RPM |
抽气速率 |
2.2L/S |
电机功率 |
0.4KW |
 ACP15无油多级罗茨泵
方案二 | 型号 | ACP15 |
| 电源 | AC100-240 50/60HZ |
| 功率 | 450W |
| 重量 | 25KG |
| 最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s |
| 抽气速率 | 14 m3/h |
| 极限压强 | 0.02Torr |
| 进、排气接口 | KF25 |
电阻真空计 （方案一） | 型号 |
ZDR-1 |
功率 |
25W |
真空度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
电阻硅 |
ZJ-52T |
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空 （方案二） 
| 型号 |
PCG554 |
输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
真空计接口 |
KF16 |
数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
重量 |
5 lbs |
检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
是否防腐 |
防腐 |
响应时间 |
≤30ms |
测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
分子泵机组（选购） 
（方案一或方案二任选一个） | 机组输入电压 | 380V /220V |
波纹管 | KF40X1000 |
真空挡板阀 | KF40 |
机箱尺寸 | 600X600X600 |
分子泵 （方案一） | 分子泵型号 |
FJ620 |
输入电压 |
380V |
分子泵进气口法兰 |
DN160 |
分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
冷却方式 |
水冷 |
冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
冷却水温度 |
<25℃ |
环境温度 |
0～40℃ |
建议启东压强 |
<100pa |
分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二） 
| 功率 |
0.75KW |
电压 |
380V |
转速 |
1450rpm |
进气口径 |
KF25/KF40 |
前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
极限压强 |
4X10 -2Pa |
德国Pfeiffer真空泵（方案二） | 电压 |
220V |
功率 |
110W |
抽气接口 |
KF40 |
重量 |
150KG |
前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
抽气速率（N2） |
33L/S |
复合真空计 
| 复合真空计型号 |
ZDF |
电源 |
220V 55W |
控制精度 |
± 1% |
真空计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
详细描述
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1400管式炉+真空系统组成
1、加热元件
（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接（选购）
该炉配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、不锈钢支撑架
7、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
8、认证
标准配置
管式炉标准配件
描叙 | 数量 | 图片 |
TL1400管式炉 | 1 套 | |
刚玉管 | 1根 | 
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不锈钢法兰 | 1 套 |  
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不锈钢炉钩 | 1 个 | 
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氧化铝炉塞 | 2对 | 
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高温手套 | 1 双 | 
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氧化铝坩埚 | 1个 | 
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| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
485转换接口和软件（选配） | 1 套 | 
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说明书 | 1本 | 
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法兰支撑架 | 1 份 | 
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供气系统 | 1台 |  |
| 抽气系统 | 1台 | |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 | 
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